（1）设备用途
具备一体式气浮隔振平台、超高表面条纹对比度且有效通光口径为32″标准平面反射镜系统、电动龙门吊车，放置被测件的二维调整平台；具备大口径平面镜面形、外观尺寸的检测能力，大口径光学平面窗口面型精度、等光程误差、材料均匀性检测能力。
（2）设备参数及系统组成
A大口径光学平面反射镜（可镀膜）表面面型精度检测
• 检测方式：波长调制方式、准直光束反射干涉；
• 检测重复性：0.5nm（RMS）；
• 检测口径：≤Φ800mm；
B大口径光学平面窗口面型精度、等光程误差检测
• 检测方式：波长调制方式、准直光束干涉腔；
• 检测重复性：1.0nm（RMS）；
• 检测口径：≤Φ800mm；
C大口径光学平面材料均匀性检测
• 检测方式：4-surface检测法，准直光束干涉腔；
• 检测口径：≤Φ800mm。
关键词:
800mm口径大平面干涉仪
具备一体式气浮隔振平台、超高表面条纹对比度且有效通光口径为32″标准平面反射镜系统、电动龙门吊车。
电话：0431-86176098
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